解決方案案例

本頁介紹利用JTEKT Thermo Systems的熱處理技術解決客戶問題的範例。查看廣泛的解決方案，包括有助於提高生產力、減少二氧化碳排放和節能的改進方案。

[case-013] 快冷橫型爐管

透過自動移動加熱器可以快速冷卻。

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- 退火
- 200型系列
[case-012] FPD用高效能聚酰亞胺固化系統

減少大型平板基板聚酰亞胺固化過程中的有機副產物沉積物

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- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
[case-011] CNT (碳納米管) 生長系統

用於大直徑晶圓的CNT (碳納米管) 生長系統

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- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
[case-010] 提高實驗和開發的準確性

使用高效能小型直立式實驗爐提高實驗和開發準確度

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- 退火
- VF-1000(H)
[case-009] 低溫直立式爐管節能

透過最佳化保溫設計提高直立式爐管的節能效果

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- 聚酰亞胺固化
- VF-3000(B)
[case-008] 提高生產力 (重新配置處理過程)

使用高效能直立式爐管可大幅提高生產率

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- 退火
- VF-3000(B)
[case-007] 透過減少爐內污染物提高產量

透過爐內自動清潔機制減少沉積物

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- 聚酰亞胺固化
- 抗固化
- VF-5300(B)
[case-006] 提高FPD應用的產量

達到半導體製造設備清潔度等級的熱處理

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- 金屬接觸退火 (適用於FPD)
- 熔塊燒製(適用於FPD)
- 脫氫 (適用於FPD)
- 啟動 (適用於FPD)
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
[case-005] 減少翹曲退火

透過採用專業知識和分析技術，實現最佳的減少翹曲退火製程

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- 其他
- SO2-12-F
[case-004] 提高生產力 (全自動傳輸)

透過全自動傳輸提高生產力

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- 接觸退火
- RLA-3000-V