解決方案案例

本頁介紹利用JTEKT Thermo Systems的熱處理技術解決客戶問題的範例。查看廣泛的解決方案，包括有助於提高生產力、減少二氧化碳排放和節能的改進方案。

[case-027]SiC功率半導體用接觸式退火設備的產能提升

SiC功率半導體用接觸式退火設備中,透過改善搬送功能實現了生產力的提升

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- 接觸退火
- RLA-4100-V
[case-025] 增進8吋晶圓的生產性

增進SiC Power Device用活性化爐及氮氧化爐的8吋晶圓生產性。現在 1 Batch 已可處理至100片晶圓。

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- 氮化物、氧氮化物
- 活化
- VF-5300H
- VF-5300HLP
[case-024] 可在不同pitch的設備間搬送的Robot

因採用Pitch可變Robot ,可不降低生產性對應6"用SMIF POD。

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- 雜質擴散
- 熱氧化
- 退火
- VF-5100
- VF-5300(B)
[case-023] 燈光退火裝置的真空load lock 搬送

因採用真空搬送機構，可提高產品的特性和生產性。

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- 接觸退火
- RLA-4100-V
[case-019] 減少晶圓傳送錯誤

透過選擇晶圓吸附的時間來減少晶圓轉移錯誤

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[Case-018] 提高偵測燈斷線的準確性

透過修改軟體提高偵測燈斷線的準確性

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- 退火
[case-017] 用於扇出晶圓和矽晶圓的潔淨烤箱系統

同一個潔淨烤箱系統可用於處理扇出晶圓和矽晶圓

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- 聚酰亞胺固化
- SO2-12-F
[case-016] 低成本大口徑直立式爐管

透過最佳化所需功能降低大口徑直立式爐管的成本

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- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
[case-015] 大批量式潔淨烤箱系統

批次數量翻倍提高生產力

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- 其他
- SO2-12-F
[case-014] 處理容易損壞的薄晶圓

解決薄晶圓開裂和碎裂引起的運輸問題

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- 退火
- VF-5100