解決方案案例
本頁介紹利用JTEKT Thermo Systems的熱處理技術解決客戶問題的範例。查看廣泛的解決方案，包括有助於提高生產力、減少二氧化碳排放和節能的改進方案。
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[case-007] 透過減少爐內污染物提高產量
透過爐內自動清潔機制減少沉積物
- 聚酰亞胺固化
- 抗固化
- VF-5300(B)
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[case-006] 提高FPD應用的產量
達到半導體製造設備清潔度等級的熱處理
- 金屬接觸退火 (適用於FPD)
- 熔塊燒製(適用於FPD)
- 脫氫 (適用於FPD)
- 啟動 (適用於FPD)
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
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[case-005] 減少翹曲退火
透過採用專業知識和分析技術，實現最佳的減少翹曲退火製程
- 其他
- SO2-12-F
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[case-004] 提高生產力 (全自動傳輸)
透過全自動傳輸提高生產力
- 接觸退火
- RLA-3000-V
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[case-003] 降低初始成本
提供具有良好價值的SiC活化退火設備
- 活化
- VF-3000H
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[case-002] VCSEL製程的建立
使用特殊的VCSEL製程專用熔爐大幅提高產量。
- 熱氧化
- VF-3000(B)
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[case-001] 提高製程開發品質
透過無金屬化消除製程開發中的問題
- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)