解決方案案例 [case-027]SiC功率半導體用接觸式退火設備的產能提升
- 接觸退火
- RLA-4100-V
SiC功率半導體用接觸式退火設備中,透過改善搬送功能實現了生產力的提升
| 支援流程 | 接觸退火 |
|---|---|
| 型號介紹 | RLA-4106-V接觸退火用燈管退火爐
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問題
隨著全球汽車的EV化,SiC功率半導體的產量正在迅速增加.
儘管半導體廠商積極投資設備,單片搬送的接觸式退火設備面臨如何提高產能的迫切問題.
解決方案
透過改善搬送功能,減少了處理室的等待時間來提高了處理能力
結果
生產能力提高了10%(與敝公司既有設備比較)
