解決方案案例 [case-023] 燈光退火裝置的真空load lock 搬送
- 接觸退火
- RLA-4100-V
因採用真空搬送機構，可提高產品的特性和生產性。
| 支援流程 | 接觸退火 |
|---|---|
| 型號介紹 | RLA-4106-V接觸退火用燈管退火爐
|
問題
過去所使用的氮氣load lock燈光退火系統，不只氮氣使用量大，在熱處理過程中加熱腔體尚須抽至真空。
另外，為加強製品特性，有必要在極低氧濃度氛圍下進行處理物的搬送。。
解決方案
將搬送系統更新為真空load lock 系統
結果
- 因抑制氧化而加強了產品的特性
- 加強生產性（33%）
