解決方案案例 [case-019] 減少晶圓傳送錯誤
透過選擇晶圓吸附的時間來減少晶圓轉移錯誤
問題
運送晶圓時，晶圓被提起後吸附。如果盒背面的凹槽呈錐形，則在吸附前提升的晶圓可能會卡在錐體上，晶圓可能會移位，從而導致傳輸錯誤和晶圓損壞。
解決方案
透過改變控制器，可以在提升晶圓之前或之後選擇晶圓吸附的時間。
結果
降低因晶圓轉移錯誤導致設備停機和晶圓損壞的風險。
透過選擇晶圓吸附的時間來減少晶圓轉移錯誤
運送晶圓時，晶圓被提起後吸附。如果盒背面的凹槽呈錐形，則在吸附前提升的晶圓可能會卡在錐體上，晶圓可能會移位，從而導致傳輸錯誤和晶圓損壞。
透過改變控制器，可以在提升晶圓之前或之後選擇晶圓吸附的時間。
降低因晶圓轉移錯誤導致設備停機和晶圓損壞的風險。