解決方案案例 [case-017] 用於扇出晶圓和矽晶圓的潔淨烤箱系統
- 聚酰亞胺固化
- SO2-12-F
同一個潔淨烤箱系統可用於處理扇出晶圓和矽晶圓
| 支援流程 | 聚酰亞胺固化 |
|---|---|
| 型號介紹 | SO2-12-F |
問題
由於FOWLP製造過程中扇出晶圓會發生翹曲，因此扇出晶圓傳送機器人的晶圓舟和手指與矽晶圓不同。因此，扇出晶圓的傳送系統和烤箱系統不能用於矽晶圓，反之亦然。
解決方案
- 使扇出晶圓載體船和矽晶圓載體船能放置在同一個腔室中
- 根據加工的晶圓交換手指，使兩艘船都能用一個機器人轉移
- 增加感測器來偵測運送的載體船
結果
- 扇出晶圓和矽晶圓都可以用一個潔淨烤箱系統進行處理。
