解決方案案例 [case-016] 低成本大口徑直立式爐管
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
透過最佳化所需功能降低大口徑直立式爐管的成本
| 支援流程 | 聚酰亞胺固化 (F-OLED) |
|---|---|
| 型號介紹 | VFS-4000 |
問題
- VFS-4000是能進行高品質熱處理的半導體規格大口徑直立式爐管。
- 但當用於烘烤柔性OLED基板時，設備價格會高於市場價值。
解決方案
- 採用耐熱玻璃的預製結構室
- 玻璃底板存放架、升降機構、排氣壓力控制方式等整套設備的價值分析和結構變化
結果
- 以合理的設備價格實現高品質的熱處理成為可能。
