解決方案案例 [case-015] 大批量式潔淨烤箱系統
- 其他
- SO2-12-F
批次數量翻倍提高生產力
| 支援流程 | 其他 (後端應用) |
|---|---|
| 型號介紹 | SO2-12-F |
問題
熱處理室中可儲存的批次數量為25個晶圓/室。因此，為了增加要處理的晶圓數量，需要增加腔室，增加安裝面積和成本。
解決方案
- 在不增加佔地面積的情況下，我們增加了熱處理室的容量，並將可儲存的批量數量增加了一倍，達到50個晶圓/室。
結果
- 一次可處理的晶圓數量增加一倍，提高了生產率。
- 降低初始成本和作業成本。
批次數量翻倍提高生產力
| 支援流程 | 其他 (後端應用) |
|---|---|
| 型號介紹 | SO2-12-F |
熱處理室中可儲存的批次數量為25個晶圓/室。因此，為了增加要處理的晶圓數量，需要增加腔室，增加安裝面積和成本。
