解決方案案例 [case-012] FPD用高效能聚酰亞胺固化系統
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
減少大型平板基板聚酰亞胺固化過程中的有機副產物沉積物
| 支援流程 | 聚酰亞胺固化 |
|---|---|
| 型號介紹 | VFS-4000 |
問題
- 在聚酰亞胺固化等有機處理過程中，有機副產品的沉澱物留在設備內，導致與顆粒相關的問題。
- 使用烤箱式熱處理設備時，要去除腔體內沉積物要靠手動腔體清潔。其是一項效率低下的沈淀物去除方法。且很難長時間保持高清潔度。
解決方案
作為FPD的聚酰亞胺固化系統，我們開發了一種大直徑直立式爐管，旨在最佳化氣體引入和排氣的路線和結構。此外，可以在高溫下燒掉副產物。
結果
- 這項創新減少了副產品的沉積物，從而消除顆粒並提高產量。
- 高溫燒盡製程可以在不拆卸製程管的情況下去除有機副產物沉積物，並提高可維護性。
