解決方案案例 [case-009] 低溫直立式爐管節能
- 聚酰亞胺固化
- VF-3000(B)
透過最佳化保溫設計提高直立式爐管的節能效果
| 支援流程 | 聚酰亞胺固化 |
|---|---|
| 型號介紹 | VF-3000小批量單片搬送直立式爐管 |
問題
配備我們的 LGO加熱器 (Moldatherm) 的直立式爐管可以執行從低溫 (200攝氏度) 到高溫 (1150攝氏度) 的各種高品質熱處理。作為節能措施，迄今為止，我們一直專注於高溫至中溫範圍 (600至1100攝氏度) 的加工爐，但當使用高溫至中溫加工爐作為專用於低溫範圍的生產線時,存在用於加熱絕熱材料的電力量變得超過需要的問題。
解決方案
- 開發低溫區專用LGO加熱器。
- 最佳化絕緣在工作溫度範圍內的熱容量和散熱平衡。
- 製作加熱器原型並驗證其效能。
結果
- 降低功耗： 1.1kWh/run *
- 減少二氧化碳排放：742 公斤/年 *
(備註*：計算示例的條件)
應用：聚酰亞胺固化
加工晶圓：6英寸 × 75片晶圓
年加工次數：6回/天 × 300天/年
