解決方案案例 [case-006] 提高FPD應用的產量
- 金屬接觸退火 (適用於FPD)
- 熔塊燒製(適用於FPD)
- 脫氫 (適用於FPD)
- 啟動 (適用於FPD)
- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
達到半導體製造設備清潔度等級的熱處理
| 支援流程 | 固化 (FPD用) 、活化 (FPD用) 、脫氫 (FPD用) 、玻璃燒製(FPD用) 、金屬接觸退火 (FPD用) |
|---|---|
| 型號介紹 | VFS-4000大口徑直立式爐管 |
問題
在FPD，特別是OLED和高溫多晶矽液晶的熱處理過程中，由於顆粒的產生會降低產量，因此需要半導體製造清潔度級別的熱處理設備。
解決方案
- 我們利用石英等製成的非金屬腔室開發了與大型基板相容的設備。
結果
- 我們能使用該設備執行該過程，產生的顆粒非常少，從而提高產量。
