解決方案案例 [case-005] 減少翹曲退火
- 其他
- SO2-12-F
透過採用專業知識和分析技術，實現最佳的減少翹曲退火製程
| 支援流程 | 其他 |
|---|---|
| 型號介紹 | SO2-12-F |
問題
在FO-WLP、FO-PLP等中，由於應力而發生基板翹曲。儘管需要退火製程來減少翹曲，但仍需要最佳的基板固定設備。
解決方案
- 我們進行了分析並提交一份提案，其中模擬轉移過程中的干擾、熱容量的影響以及能夠減輕翹曲的最佳基板保持設備。
結果
- 即使對於表現出嚴重翹曲的晶圓，也實現了穩定的加工和轉移。
透過採用專業知識和分析技術，實現最佳的減少翹曲退火製程
| 支援流程 | 其他 |
|---|---|
| 型號介紹 | SO2-12-F |
在FO-WLP、FO-PLP等中，由於應力而發生基板翹曲。儘管需要退火製程來減少翹曲，但仍需要最佳的基板固定設備。
