解決方案案例

本頁介紹利用JTEKT Thermo Systems的熱處理技術解決客戶問題的範例。查看廣泛的解決方案，包括有助於提高生產力、減少二氧化碳排放和節能的改進方案。

[case-027]SiC功率半導體用接觸式退火設備的產能提升

SiC功率半導體用接觸式退火設備中,透過改善搬送功能實現了生產力的提升

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- 接觸退火
- RLA-4100-V
[case-026] 藉由廢氣濃度將脫脂狀態可視化

藉由測量並分析陶瓷的脫脂(BBO)處理中的廢氣濃度，將Binder的分解過程可視化。有助於檢討處理條件、減少工時、生產效率改善。

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- 脫脂
- 烤箱系列
- AllFit系列
[case-025] 增進8吋晶圓的生產性

增進SiC Power Device用活性化爐及氮氧化爐的8吋晶圓生產性。現在 1 Batch 已可處理至100片晶圓。

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- 氮化物、氧氮化物
- 活化
- VF-5300H
- VF-5300HLP
[case-024] 可在不同pitch的設備間搬送的Robot

因採用Pitch可變Robot ,可不降低生產性對應6"用SMIF POD。

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- 雜質擴散
- 熱氧化
- 退火
- VF-5100
- VF-5300(B)
[case-023] 燈光退火裝置的真空load lock 搬送

因採用真空搬送機構，可提高產品的特性和生產性。

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- 接觸退火
- RLA-4100-V
[case-022] 過熱水蒸氣連續爐

使用連續爐以過熱水蒸氣氣氛進行熱處理

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- 連續爐
- AllFit系列
[case-021] 回收廢熱以減少環境影響

透過利用廢熱的熱交換系統減少能源消耗

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- CCBS系列
[case-020] 處理粉末用管式爐

開發能對粉末進行均勻熱處理的管式爐

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[case-019] 減少晶圓傳送錯誤

透過選擇晶圓吸附的時間來減少晶圓轉移錯誤

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[Case-018] 提高偵測燈斷線的準確性

透過修改軟體提高偵測燈斷線的準確性

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- 退火
[case-017] 用於扇出晶圓和矽晶圓的潔淨烤箱系統

同一個潔淨烤箱系統可用於處理扇出晶圓和矽晶圓

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- 聚酰亞胺固化
- SO2-12-F
[case-016] 低成本大口徑直立式爐管

透過最佳化所需功能降低大口徑直立式爐管的成本

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- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
[case-015] 大批量式潔淨烤箱系統

批次數量翻倍提高生產力

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- 其他
- SO2-12-F
[case-014] 處理容易損壞的薄晶圓

解決薄晶圓開裂和碎裂引起的運輸問題

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- 退火
- VF-5100
[case-013] 快冷橫型爐管

透過自動移動加熱器可以快速冷卻。

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- 退火
- 200型系列
[case-012] FPD用高效能聚酰亞胺固化系統

減少大型平板基板聚酰亞胺固化過程中的有機副產物沉積物

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- 固化 (適用於FPD)
- VFS-4000
[case-011] CNT (碳納米管) 生長系統

用於大直徑晶圓的CNT (碳納米管) 生長系統

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- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)
[case-010] 提高實驗和開發的準確性

使用高效能小型直立式實驗爐提高實驗和開發準確度

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- 退火
- VF-1000(H)
[case-009] 低溫直立式爐管節能

透過最佳化保溫設計提高直立式爐管的節能效果

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- 聚酰亞胺固化
- VF-3000(B)
[case-008] 提高生產力 (重新配置處理過程)

使用高效能直立式爐管可大幅提高生產率

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- 退火
- VF-3000(B)