VF-5700 300mm晶圓小批量直立式爐管
概要
此循環時間短、產量高的直立式擴散爐以小批量處理300mm (12英寸) 晶圓,每批25-50片晶圓。由於消除了堆料器空間,其高度小於3000 mm,易於導入。很多情況下,爐子都是在沒有堆料器的情況下導入的,因此您可以降低與堆料器相關的成本。由於有LGO加熱器,該爐子在從低溫到中高溫的廣泛範圍內表現出卓越的溫度特性。適用於除矽晶圓外的IGBT、聚酰亞胺、薄晶圓等材料的熱處理。
規格
外部 尺寸 |
W1250×D2000×H2850 mm |
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加熱器 | 大功率LGO加熱器 |
平坦區 長度 |
500 mm |
晶圓尺寸 |
300 mm |
批量大小 | 50片晶圓 |
FOUP開口器 | 2 |
指 | 5片晶圓 + 單晶圓 |
主機通訊 | HSMS/GEM300 (選項) |
選用件 | 強制冷卻系統 氮氣負載鎖定 平面區長度750 mm (批量75片晶圓) |