VF-5700 300mm晶圓小批量直立式爐管

此熱處理系統執行矽晶圓、IGBT、聚酰亞胺和薄晶圓的氧化、擴散和CVD。由於此機型高度小於3000 mm,因此可以輕鬆導入。其特點是循環時間短,產量高。

特性

  • 小批量,彈性的25至50片晶圓批量處理
  • 使用具有快速加熱時間的大功率加熱器實現高處理量
  • 配備易於操作的高效能控制系統
  • 輕巧的尺寸,沒有堆料器

概要

此循環時間短、產量高的直立式擴散爐以小批量處理300mm (12英寸) 晶圓,每批25-50片晶圓。由於消除了堆料器空間,其高度小於3000 mm,易於導入。很多情況下,爐子都是在沒有堆料器的情況下導入的,因此您可以降低與堆料器相關的成本。由於有LGO加熱器,該爐子在從低溫到中高溫的廣泛範圍內表現出卓越的溫度特性。適用於除矽晶圓外的IGBT、聚酰亞胺、薄晶圓等材料的熱處理。

規格

外部
尺寸
W1250×D2000×H2850 mm
加熱器 大功率LGO加熱器
平坦區
長度
500 mm
晶圓尺寸
300 mm
批量大小 50片晶圓
FOUP開口器 2
5片晶圓 + 單晶圓
主機通訊 HSMS/GEM300 (選項)
選用件 強制冷卻系統
氮氣負載鎖定
平面區長度750 mm
(批量75片晶圓)