VF-5100量產用旋轉料台式直立式爐管
概要
這款適用於4至8英寸晶圓的直立式爐管可彈性滿足您的生產線需求。您可以在50到150之間選擇要處理的晶圓數量。您可以從LGO加熱器、二矽化鉬 (MoSi2)加熱器和碳加熱器中選擇加熱器,因此該爐子不僅可用於低溫退火、氮化物 (Si3N4)、多晶矽 (poly Si)和其他材料的LPCVD、氧化和擴散加工,也可用於SiC功率裝置柵矽氧氮化、活化退火等超高溫加工。
規格
外部尺寸 | W900×D1850×H2930 mm (100片晶圓) W1000×D1950×H3300 mm (150片晶圓) |
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加熱器 | LGO加熱器 |
平面區長度 | 360至960 mm |
晶圓尺寸 | 4至8英寸 |
批量大小 | 最高150片晶圓 |
I/O連接埠 | 1 |
盒式堆料器數量 | 4至8 |
指 | 5片晶圓 + 單晶圓 |
主機通訊 | HSMS/GEM (選項) |
選用件 | 強制冷卻系統 氮氣負載鎖定 薄晶圓處理 可轉換的晶圓尺寸 |
應用
相關解決方案案例
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