VF-3000H柵極絕緣膜形成用直立式爐管
概要
VF-3000H是一款直立式爐,可以處理從小批量到50片晶圓的批次,以及從3到8英寸的各種晶圓尺寸。精心挑選的硬體和控制系統功能,支援從研發到批量生產線的各種應用。爐內採用我們專利的無金屬結構。VF-3000H可進行高溫處理,是功率裝置製造的理想選擇。也可以進行氧氮化。
規格
工作溫度範圍 | 700至1,400°C |
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支援的晶圓尺寸 | 3至8英寸 |
最大批號數 | 50片晶圓 |
使用的氣體 | N2、Ar、H2、NO、N2O、NH3 |
選用件 | 氮氣、負載鎖定、腔室清潔機構 |
應用 | SiC功率裝置、氧氮化、氮化、氧化、研發、量產 |
應用
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