VF-3000HLP活性化退火爐

可進行超高溫處理的直立式爐管,是功率裝置製造的理想選擇。支援3至8英寸晶圓,並具有自動晶圓傳輸機制。可用於從研發到量產的應用。

特性

 

  • 支援從小批量到50片晶圓的批量,以及從研發到批量生產線的應用。
  • 支援從3到8英寸的各種晶圓尺寸。
  • 爐內採用我們專利的無金屬結構。
  • 可在晶圓附近進行溫度監控。
  • 氮氣負載鎖定作為標準功能提供。
  • 高處理量盒到盒的運輸
  • 氫氣氣氛退火與溝槽倒圓為可選項。

概要

VF-3000HLP是一款直立式爐管,可以處理從小批量到50片晶圓的批次,以及從3到8英寸的各種晶圓尺寸。精心挑選的硬體和控制系統功能,支援從研發到批量生產線的各種應用。爐內採用我們專利的無金屬結構。VF-3000HLP可加工測試裝置 (無需晶圓轉移),支援超高溫活化退火製程。

規格

工作溫度範圍 700至1,900°C (700至1,800°C,用於氫氣退火)
支援的晶圓尺寸 3至8英寸
最大批號數 50片晶圓
使用的氣體 氮氣、氬氣、氫氣 (可選項)
應用 SiC功率裝置、研發、量產、活化退火

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