VF-3000HLP活性化退火爐
概要
VF-3000HLP是一款直立式爐管,可以處理從小批量到50片晶圓的批次,以及從3到8英寸的各種晶圓尺寸。精心挑選的硬體和控制系統功能,支援從研發到批量生產線的各種應用。爐內採用我們專利的無金屬結構。VF-3000HLP可加工測試裝置 (無需晶圓轉移),支援超高溫活化退火製程。
規格
工作溫度範圍 | 700至1,900°C (700至1,800°C,用於氫氣退火) |
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支援的晶圓尺寸 | 3至8英寸 |
最大批號數 | 50片晶圓 |
使用的氣體 | 氮氣、氬氣、氫氣 (可選項) |
應用 | SiC功率裝置、研發、量產、活化退火 |
應用
相關解決方案案例
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- 活化
- VF-3000H