VF-3000小批量單片搬送直立式爐管
概要
此爐可用於從4英寸到8英寸的多種晶圓尺寸,並且可以選擇小批量處理50-75片晶圓。透過精心挑選的硬體和控制系統內容,以實現低價,這款直立式爐管可用於從研發到量產線的廣泛功能。從LGO加熱器、二矽化鉬 (MoSi2)加熱器和碳加熱器中選擇,並使用合適的加熱器,不僅適用於低溫退火、氮化物 (Si3N4)、多晶矽 (poly Si)和其他材料的LPCVD、氧化和擴散,也適用於SiC功率裝置柵矽氧氮化、活化退火等超高溫處理製程。
規格
外部尺寸 | W1200×D1450×H2610 mm |
---|---|
加熱器 | LGO加熱器 |
平面區長度 | 至 360 mm |
晶圓尺寸 | 4至8英寸 |
批量大小 | 最高75片晶圓 (8英寸為50片晶圓) |
I/O連接埠 | 4 |
盒式堆料器數量 | 4 |
指 | 單晶圓 |
選用件 | 強制冷卻系統 氮氣負載鎖定 可轉換的晶圓尺寸 |
應用
相關解決方案案例
-
[case-009] 低溫直立式爐管節能
透過最佳化保溫設計提高直立式爐管的節能效果
- 聚酰亞胺固化
- VF-3000(B)
-
[case-008] 提高生產力 (重新配置處理過程)
使用高效能直立式爐管可大幅提高生產率
- 退火
- VF-3000(B)
-
[case-002] VCSEL製程的建立
使用特殊的VCSEL製程專用熔爐大幅提高產量。
- 熱氧化
- VF-3000(B)