RLA-4106-V接觸退火用燈管退火爐
概要
以上下交叉排列的多個鹵素燈為熱源,用於晶圓的快速、高精度退火的生產設備。使用新開發的真空運輸平台,可以在超低氧氣氛中運輸和處理工件。
規格
工作溫度範圍 | 400至1200°C |
---|---|
升溫速率 | 最高200°C/秒 |
燈陣列 | 頂部/底部表面交叉陣列 |
控制區數量 | 6 |
晶圓尺寸 (mm) | Φ150*Φ200mm 尺寸也可加工。 |
晶圓運輸 | 真空吸塵機器人 |
處理 | 退火、氧化 |
工件 | Si、SiC 晶圓、GaN、其他 |
以上下交叉排列的多個鹵素燈為熱源,用於晶圓的快速、高精度退火的生產設備。使用新開發的真空運輸平台,可以在超低氧氣氛中運輸和處理工件。
工作溫度範圍 | 400至1200°C |
---|---|
升溫速率 | 最高200°C/秒 |
燈陣列 | 頂部/底部表面交叉陣列 |
控制區數量 | 6 |
晶圓尺寸 (mm) | Φ150*Φ200mm 尺寸也可加工。 |
晶圓運輸 | 真空吸塵機器人 |
處理 | 退火、氧化 |
工件 | Si、SiC 晶圓、GaN、其他 |