206A型太陽能發電橫型爐管
此橫型爐管適用於太陽能電池和光電 (PV) 電池的生產。可以批量處理100到156片方形晶圓，每批200到400片晶圓。
特性
- 國內市佔率第一
- 處理100至156mm矩形晶圓
- 批量：可處理200至400片晶圓 (取決於平坦區長度和晶圓間距)
- 使用KTS獨有的LGO加熱器快速加熱和冷卻，降低功率
概要
此太陽能電池和光電 (PV) 電池製造橫型爐管可處理 100mm和 156mm矩形光電電池以及3英寸和8英寸晶圓。太陽能電池和光電 (PV) 電池生產的最佳爐子，可使用POCl3、BBr3 等材料進行磷擴散、硼擴散、熱解氧化、濕法氧化、乾式氧化、退火等晶體系統熱處理。
規格
| 外形尺寸 (mm) | W850 x L6700 x H2500 mm (三級爐) |
|---|---|
| 加熱器 | LGO加熱器 |
| 平面區長度 | 1000 mm |
| 溫度控制 | 3至5區 |
| 運送設備 | 載體船機 |
| 製成品 | 3至8英寸矽晶圓 100至156 mm矩形晶圓 |
