單片搬送式IR烤箱
概要
高清潔係數
不產生灰塵的清潔結構與精確的烤箱氣氛控制 (已獲得專利) 相結合,可提供高等級的清潔效能。
這些烤箱也能處理需要嚴格清潔環境的陣列基板。
加熱效率高
採用加熱效率高的遠紅外線 (IR)加熱系統,可高效處理所有薄膜厚度。
非常適合處理厚膜,例如取向層和鈍化膜。
出色的溫度均勻性
採用的IR面板加熱器可提供出色的溫度均勻性。即使是第10代等大尺寸基板,也能均勻加熱。
能控制氣氛
可將氮氣注入烤箱中,在低氧濃度下進行熱處理。
規格
機型 | CCBS-IR |
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基板尺寸 (mm) | 300 (W) × 400 (L)至3000 (W) × 3200 (L) |
工作溫度範圍 | 室溫至 250°C |
溫度精度 | ±3°C |
清潔因子 | 10級 (0.3μm) |