优化设计

我们针对客户需求推荐合适的热处理设备。

“我希望能够进行实验性开发和小批量生产。我也希望能够更容易地过渡到大批量生产。”
“虽然我们可用于安装机器的区域面积有限，但我们希望安装符合所需规格要求的机器。”
“由于新的处理要求薄膜沉积分布均匀，我们希望能够精确控制温度和气氛。”
“因为它将在特定的气体环境中使用，我比较担心安全性。”

这些是我们客户的一些要求和担忧。我们以积累的设计知识解答此类客户询问，并根据我们丰富的生产经验推荐合适的热处理设备。
请随时与我们联系。

定制示例

立式炉管示例

支持气柜布局更改
支持在大气压下使用液体源进行处理
支持硒化/硫化处理
为大口径熔炉（G4 或更大尺寸）提供真空支持
碳纳米管生长设备
支持薄晶圆（80μm 或以上）
支持扇出型晶圆的设备
为大型 FPD 聚酰亚胺固化面板提供基板支持
支持湿真空处理
支持干真空（氧分压控制）处理
支持使用 ClF₃ 进行现场清洁
支持处理石英盒的散装运输
[摘要]装有晶圆的石英盒按原样转移、堆叠，并在该状态下进行热处理。
支持平面多晶硅（无温度倾向）

*支持因型号而异。

灵活的设备布局

可以将连接到熔炉的气柜等移动到后侧或地板下面，而不仅仅是前后方。我们可以避开设备区域的限制，并提高设备的可维护性。

卧式炉管示例

配备自动移动式加热器的快速冷却机构
配备自动开启/关闭式加热器的强制冷却机构
自动输送石英安瓿的注水冷却机构
支持使用悬臂装载机进行 POCl₃ 和 BBr₃ 扩散
高速悬臂装载机（支持氧气施体杀手处理）

灯退火炉示例

更换基座上工件的机构
同时处理多片一体式
支持从氧化到氧氮化的连续处理

烘箱示例

支持 φ8” 和 φ300mm 晶圆