解决方案案例
本页介绍利用 JTEKT Thermo Systems 的热处理技术解决客户问题的示例。查看各种解决方案，包括有助于提高生产力、减少二氧化碳排放和节能的改进。
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[case-007] 通过减少炉内污染物来提高产量
通过炉内自动清洁机制减少沉积物
- 聚酰亚胺固化
- 抗蚀剂固化
- VF-5300(B)
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[case-006] 提高 FPD 应用的产量
实现半导体制造设备清洁度级别的热处理
- 金属接触退火（适用于 FPD）
- 玻璃料烧制（适用于 FPD）
- 脱氢（适用于 FPD）
- 活化（适用于 FPD）
- 固化（适用于 FPD）
- VFS-4000
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[case-005] 减翘曲退火
运用专业知识和分析技术，实现最佳减翘曲退火工艺
- 其他
- SO2-12-F
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[case-004] 提高生产力（全自动传输）
通过全自动传输提高生产力
- 接触退火
- RLA-3000-V
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[case-003] 降低初始成本
提供物超所值的碳化硅活化退火设备
- 活化
- VF-3000H
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[case-002] 制定 VCSEL 工艺
借助特殊的 VCSEL 工艺专用炉，显著提高了产量。
- 热氧化
- VF-3000(B)
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[case-001] 提高工艺开发的质量
通过无金属化消除工艺开发中的问题
- 氮化物、氧氮化物
- VF-1000(H)