解决方案案例 [case-027] 提高用于SiC功率半导体接触退火设备的生产率
- 接触退火
- RLA-4100V
通过改善SiC功率半导体接触退火设备的搬送机能，以提高生产率。
| 支持工艺 | 接触退火 |
|---|---|
| 型号介绍 | RLA-4106-V 接触退火用灯光退火炉
|
问题
随着全球汽车向电动汽车的转变，SiC 功率半导体的生产正如火如荼地进行。
半导体制造商正在积极投资设备，但是单片搬送的接触退火设备正面临着如何提高生产率的迫切问题。
解决方案
通过改善搬送机能，减少腔体的等待时间，以实现处理能力的提升。
结果
生产率提高了 10%（与我司以前的设备相比）。
