解决方案案例 [case-024] 可实现在不同晶圆尺寸设备间传输的Robot
- 杂质扩散
- 热氧化
- 退火
- VF-5100
- VF-5300(B)
通过采用晶圆尺寸可变Robot，在保证生产力的同时，满足6inch的SMIF POD的对应。
| 支持工艺 | 氧化、扩散、退火 |
|---|---|
| 型号介绍 | VF-5300型、VF-5100型、其他各种立式炉管 
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问题
通常情况下，6inch晶圆的晶盒距为4.76毫米，但6inch晶圆的SMIF POD距为6.35毫米，则石英舟槽距也需改为6.35毫米，结果会导致晶圆处理数减少一批次。
解决方案
采用此可变搬送Robot，实现了6.35毫米SMIF POD与4.76毫米槽距的石英舟之间的传输。
结果
在不减少一批次的处理量的情况下，实现6inch晶圆的处理。（处理数量：150片/批次）另外，此可变Robot今后将会增产并可运用于SiC晶圆的处理。
