解决方案案例 [case-015] 大批量式洁净烘箱系统
- 其他
- SO2-12-F
将批次数量增加一倍，以提高生产力
| 支持工艺 | 其他（后端应用） |
|---|---|
| 型号介绍 | SO2-12-F |
问题
热处理腔室中可储存的批次数为 25 片一体式/腔室。因此，为了增加处理的晶圆数量，有必要增加一个腔室，从而增加了安装面积和成本。
解决方案
- 在不增加占地面积的情况下，我们提高了热处理腔室的容量，并将可存储的批次数量增加了一倍，达到 50 片一体式/腔室。
结果
- 一次可加工的晶圆数量翻了一番，提高了生产力。
- 降低了初始成本和运行成本。
