解决方案案例 [case-012] 适用于 FPD 的高性能聚酰亚胺固化系统
- 固化（适用于 FPD）
- VFS-4000
在大型平板基板的聚酰亚胺固化中，减少有机副产物沉积
| 支持工艺 | 聚酰亚胺固化 |
|---|---|
| 型号介绍 | VFS-4000 |
问题
- 在聚酰亚胺固化等有机处理工艺中，有机副产物沉积在设备内，导致与颗粒相关的问题。
- 当使用烘箱式热处理设备时，清除腔室中的沉积物是采用手动腔室清洁。这种去除沉积物方法的效率很低。而且很难长期保持高清洁度。
解决方案
作为适用于 FPD 的聚酰亚胺固化系统，我们开发了一种大直径立式炉管，旨在优化气体引入和排出的路线和结构。而且，可以在高温下燃烧副产物。
结果
- 这一创新减少了副产物沉积，从而消除了颗粒，并提高了产量。
- 高温燃尽工艺能够在无需拆卸工艺管道的情况下去除有机副产物沉积，并提高可维护性。