VF-5900 300mm晶圆大批量立式炉管
概述
这款大批量生产立式扩散炉一批最多可处理 100 片一体式(300 毫米/12 英寸)或 16 个 FOUP。LGO 加热器用于提供低温到中高温的出色温度特性。除硅晶片外,该立式炉管还可用于 IGBT、聚酰亚胺、薄晶圆和其他材料的热处理。
规格
外部尺寸 | W1250 × D3200 × H3450 mm |
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加热器 | LGO 加热器 |
均热区长度 | 1040 mm |
晶圆大小 | 300 mm |
批量大小 | 100 片一体式 |
I/O 端口 | 2 |
FOUP 储料器数量 | 16 |
手指 | 5 片一体式 + 单片式 |
HOST 通信 | HSMS/GEM300 |
选配 | 强制冷却系统 N2 置换室 |