活性化退火炉
可进行超高温处理的立式炉管，非常适合功率器件制造。支持 6 至 8 英寸晶圆，并具有自动晶圆传输机制。可用于批量生产。
特性
- 支持每批最多处理 100 片一体式，可用于量产生产线。
- 支持多种晶圆大小，从 6 英寸到 8 英寸不等。
- 炉内采用我们专有的无金属结构。
- 可在晶圆附近进行温度监控。
- N2 置换室是标配。
- 高通量晶圆盒传输
- 可以选择 H2 气氛退火和沟槽倒圆处理。
概述
这款立式炉管每批最多可以处理 100 片晶圆，晶圆大小从 6 英寸到 8 英寸不等。精心挑选的硬件和控制系统功能可用于量产生产线。炉内采用我们专有的无金属结构。该退火炉支持超高温活化退火工艺。
规格
| 型号 | VF-5300HLP |
|---|---|
| 工作温度范围 | 700 至 1900°C（H2 退火为 700 至 1800°C） |
| 支持的晶圆大小 | 6 至 8 英寸 |
| 最大批量 | 100 片一体式 |
| 使用气体 | N2、Ar、H2（可选） |
应用
定制
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