活性化退火炉
可进行超高温处理的立式炉管，非常适合功率器件制造。支持 3 至 8 英寸晶圆，并具有自动晶圆传输机制。可用于从研发到量产等各种应用。
特性
- 支持从小批量到 50 片一体式的批量，以及从研发到量产等应用。
- 支持多种晶圆大小，从 3 英寸到 8 英寸不等。
- 炉内采用我们专有的无金属结构。
- 可在晶圆附近进行温度监控。
- N2 置换室是标配。
- 高通量晶圆盒传输
- 可以选择 H2 气氛退火和沟槽倒圆处理。
概述
这款立式炉管可以处理小批量到 50 片一体式，以及从 3 英寸到 8 英寸的各种晶圆大小。精心挑选的硬件和控制系统功能支持从研发到量产等应用。炉内采用我们专有的无金属结构。该退火炉可以处理测试设备（无需晶圆传输），并支持超高温活化退火工艺。
规格
| 型号 | VF-3000HLP |
|---|---|
| 工作温度范围 | 700 至 1900°C（H2 退火为 700 至 1800°C） |
| 支持的晶圆大小 | 3 至 8 英寸 |
| 最大批量 | 50 片一体式 |
| 使用气体 | N2、Ar、H2（可选） |
应用
定制
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[case-003] 降低初始成本
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- 活化
- VF-3000H
