VF-3000HLP 活性化退火炉
概述
VF-3000HLP 立式炉管可以处理小批量到 50 片一体式,以及从 3 英寸到 8 英寸的各种晶圆大小。精心挑选的硬件和控制系统功能支持从研发到量产等应用。炉内采用我们专有的无金属结构。VF-3000HLP 可以处理测试设备(无需晶圆传输),并支持超高温活化退火工艺。
规格
工作温度范围 | 700 至 1,900°C(H2 退火为 700 至 1,800°C) |
---|---|
支持的晶圆大小 | 3 至 8 英寸 |
最大批量 | 50 片一体式 |
使用气体 | N2、Ar、H2(可选) |
应用 | SiC 功率设备、研发、量产、活化退火 |
应用
定制
相关解决方案案例
-
[case-003] 降低初始成本
提供物超所值的碳化硅活化退火设备
- 活化
- VF-3000H