200 型系列量产~实验用卧式炉管
从小型实验和研发到批量生产，这些炉管可以满足各种用户需求。
这些卧式炉管可用于太阳能电池和光伏发电系统生产以及硅晶片。
特性
- 从实验用途到批量生产，提供各种设备配置
- 批次：可处理 25 至 150 片一体式
- 采用 1 至 4 层炉管配置，以利用有限的可用面积
- 提供 2 至 8 英寸晶圆尺寸
- 提供适用于低温和中高温的 LGO 加热器、适用于高温的 HGC 加热器，以实现出色的温度性能
- 按照客户的需求，根据使用情况、空间和预算提出各种设备配置
- 简单而完备的控制系统
概述
从 3 英寸、4 英寸、6 英寸和 8 英寸晶圆以及 125*125mm 和 156*156mm 电池的实验和研发到批量生产，这些卧式炉管可满足用户的各种要求。除硅晶片外，这些炉管还可用于太阳能电池和光伏发电系统生产，使用 POCl3、BBr3 等进行磷扩散、硼扩散、热原氧化、湿氧化、干氧化、退火等。
规格
| 加热器 | LGO 加热器、HGC 加热器 |
|---|---|
| 均热区长度 | 250mm 至 800mm |
| 温度控制 | 3 区 |
| 传输设备 | 晶舟升降机、晶舟搭载机、悬臂装载机、软装载机 |
| 制成品 | 3 至 8 英寸硅晶片 125*125mm 至 156*156mm 晶圆 |
