半导体
设备

我们制造先进的热处理设备，用于生产功率半导体（Si、SiC、GaN）、有机 EL (OLED)、MEMS 和 VCSEL，以及封装（扇出型 WLP/PLP、晶圆凸块等）。我们的产品系列涵盖从低温到 1850°C 范围内的热处理。

立式炉管

我们的旗舰产品。从实验应用到批量生产，提供广泛的产品系列，具有良好的温度分布和气氛控制。

应用：半导体、SiC 功率半导体、MEMS、VCSEL、PV（光伏）、FPD

可垂直堆叠多达 4 根水平处理管。能够有效利用安装区域的通用系统。

应用：半导体、PV（光伏）

可实现出色的平面内温度均匀性的单片式系统。可以自动或手动选择手指。

应用：半导体、SiC 功率半导体

用于聚酰亚胺后处理（后端处理）和抗蚀剂固化的最佳对流加热系统。

应用：半导体、FPD

半导体用大口径立式炉管。可以对 FPD 应用进行超清洁处理。

应用：PV（光伏）、FPD

专为 SiC 功率半导体热处理设计的系统。

应用：半导体、SiC 功率半导体