我们致力于追求平板显示器、薄膜材料和板材制造领域所需的清洁性能和均匀热处理质量。

JTEKT Thermo Systems 为平板显示器、薄膜材料和板材制造中使用的各种热处理做出了贡献。例如，我们适用于液晶显示器 (LCD) 和有机 EL (OLED) 等产品的清洁加热系统，以及适用于高性能薄膜和充电电池电极材料等板材的熔炉。

在影响设备性能的材料和工艺方面，使用此类设备处理的工件正在迅速发展，其应用已扩展到新领域。由于生产设备需要更高的创新性能，JTEKT Thermo Systems 基于我们长期积累的丰富经验和技术，不断推出满足客户需求的新解决方案。

适用于平板显示器的洁净烘箱

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  单片式洁净烘箱
  CCBS 系列

  高生产率、高清洁系数、无损坏。支持在气体环境中操作
  应用：彩色滤光片光阻剂的后烘烤、退火、密封主固化和预固化、烘烤聚酰亚胺涂层

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  单片式 IR 烘箱
  CCBS - IR 系列

  高清洁度下的高加热效率
  支持在气体环境中操作
  应用：烘烤聚酰亚胺涂层、退火、烘烤钝化膜、密封主固化/预固化

其他设备

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  辊轴式连续炉
  RH 系列

  清洁并改善工作环境。
  应用：FPD、太阳能电池板的各种浆料和薄膜的高温烘烤
  欲知更多详情，请联系我们。

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  树脂带式干燥炉
  RB 系列

  由于采用了树脂传送带，因此不会在基板上产生张力。
  通过减少炉内粉尘的产生，实现清洁环境（100 级）。
  应用：保护片和薄膜的热处理
  欲知更多详情，请联系我们。

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  批量洁净设备 CBS 系列

  我们专有的密封结构可通过充入惰性气体进行抗氧化处理。
  超高温 HEPA 过滤器支持的最高工作温度为 500°C。
  采用烘箱强制冷却机制和更快的基板传送实现了高吞吐量。
  应用：LTPS（低温多晶硅）和 TFT 的各种退火

  欲知更多详情，请联系我们。
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  步进式洁净烘箱 WB 系列

  烘箱内运输采用了清洁性能优异的步进梁系统。
  通过使用耐热晶盒批量运输玻璃基板，实现了较高的生产效率。
  应用：玻璃基板退火

  欲知更多详情，请联系我们。