解决方案案例

查看各种客户问题及其解决方案。

• [case-011] CNT（碳纳米管）生长系统

  用于大直径晶圆的 CNT（碳纳米管）生长系统

  • 氮化物、氧氮化物
  • VF-1000(H)

• [case-010] 提高了实验和开发精度

  通过实验用高性能小型立式炉管提高实验和开发精度

  • 退火
  • VF-1000(H)

• [case-009] 低温立式炉管节能

  优化隔热设计，增强立式炉管节能效果

  • 聚酰亚胺固化
  • VF-3000(B)